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美培亚三美MMS101是一个6轴力扭矩传感器，具有3轴力和3轴力矩。 采用MEMS芯片和金属结构的混合结构，实现6轴检测。 该产品在其模块中内置了 AFE IC，并产生数字输出 (SPI)。 用于矩阵运算的校正系数（去除其他轴干扰分量）存储在 AFE IC 内的存储器中。 由于可以在测量开始前立即读取它们，因此用户无需控制传感器和校正系数。此外，模块中内置的 LDO 可降低噪音。 美培亚三美 MMS101微型6分量力/六轴/力矩传感器极其小巧轻便，适用于机器人手的指尖。
美培亚三美 MMS101微型6分量力/力矩传感器的特点
| 微型尺寸 | Φ9.6(W) × 9.0(H) mm |
| 重量轻 | 3 g |
| 高载荷范围 | Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N・m |
| 额定量程范围 | Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N・m |
内置LDO降噪 |
Fx, Fy：0.04N RMS / Fz：0.06N RMS Mx, My：0.0004N・m RMS / Mz：0.0008N・m RMS |
| 通过内置序列器（SPI）数字输出6轴数据 | |
美培亚三美 MMS101微型6分量力/力矩传感器的性能指标
| 测试条件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | |||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 | |
| 理论分辨率 | FxFyFz | FRES | - | - | 0.001 | - | N |
| MxMyMz | MRES | - | - | 0.00001 | - | N・m | |
有效分 辨率(备 注1) |
FxFy | FEresxy | - | - | 0.04 | - | N RMS |
| Fz | FEresz | - | - | 0.06 | - | N RMS | |
| MxMy | MEresxy | - | - | 0.0004 | - | N・m/RMS | |
| Mz | MEresz | - | - | 0.0008 | - | N・m /RMS | |
| 线性度(备注1) | FL ML |
FS=40N or 0.4N・m |
-1 | - | 1 | %FS | |
| 滞后 | FHys MHys |
FS=40N or 0.4N・m |
-1 | - | 1 | %FS | |
| 测量精度 (备注1) | FAcc MAcc |
FS=40N or 0.4N・m |
-5 | - | 5 | %FS | |
| 转换时间 | tcon | - | - | 781.25 | - | usec | |
| 延时 | tlat | 转换时间：典型值 通讯时钟：1MHz 无延迟切换 AFE 访问 |
- | - | 2 | msec | |
| 备注1: 图表中的值是使用我们的评估设备和电路板的测量结果 | |||||||
MMS101微型6分量力/力矩传感器的电气指标
| 模拟指标(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V) | ||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 |
| 高电平输入电压 | VIH | - | 0.8 × VDDIO | - | VDDIO + 0.3 | V |
| 低电平输入电压 | VIL | - | 0.3 | - | 0.2 × VDDIO | V |
| 数字I/O 指标(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | ||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 |
| 高电平输入电压 | VIH | - | 0.8 × VDDIO | - | VDDIO + 0.3 | V |
| 低电平输入电压 | VIL | - | -0.3 | - | 0.2 × VDDIO | V |
| 输出电压高电平 | VOH1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = -3mA | VDDIO - 0.4 | - | - | V |
| VOH2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = -1mA | 0.8 × VDDIO | - | - | V | |
| 输出电压低电平 | VOL1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = 3mA | - | - | 0.4 | V |
| VOL2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = 1mA | - | - | 0.2 × VDDIO | V | |
MMS101微型6分量力/力矩传感器的尺寸规格
MMS101微型6分量力/力矩传感器的坐标
